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Nanoscopic Cylindrical Dual Concentric and Lengthwise Block Brush Terpolymers as Covalent Preassembled High-Resolution and High-Sensitivity Negative-Tone Photoresist Materials

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Descripción
Autoría

autor: Sangho Cho  Michael J. Eller  Karen L. Wooley  Emile A Schweikert 

Fecha de publicación 12 de marzo de 2013
Idioma inglés
País de origen
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Estatus de derecho de autor Private domain
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