Fabrication of ZrO2 and ZrN Films by Metalorganic Chemical Vapor Deposition Employing New Zr Precursors
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Roland A Fischer Q58811370 Davide Barreca Hans-Werner Becker |
| Fecha de publicación | 19 de septiembre de 2012 |
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| País de origen | |
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