Hydrogenated silicon carbon nitride films obtained by HWCVD, PA-HWCVD and PECVD techniques
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | |
| Autoría |
autor: Ferreira I. Elvira Fortunato A.R. Ramos Paula M. Vilarinho E. Alves |
| Fecha de publicación | junio 2006 |
| Idioma | |
| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Private domain |
| ¿Datos faltantes/errados? | Editar ítem de Wikidata |