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Evidence of Large Voids in Pure-Silica-Zeolite Low-kDielectrics Synthesized by Spin-on of Nanoparticle Suspensions

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Descripción
Autoría

autor: Christine Eva Antonia Kirschhock  Johan A. Martens  Salvador Eslava  Francesca Iacopi 

Fecha de publicación 18 de agosto de 2008
Idioma inglés
País de origen
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Estatus de derecho de autor Desconocido
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