Boron and phosphorus doping of a-SiC:H thin films by means of ion implantation
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Rita Rizzoli Elena Tresso |
| Fecha de publicación | septiembre 1995 |
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| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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