Effects of residual hydrogen in sputtering atmosphere on structures and properties of amorphous In-Ga-Zn-O thin films
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Hidenori Hiramatsu Hideo Hosono Naoki Ohashi Shigenori Ueda |
| Fecha de publicación | 28 de noviembre de 2015 |
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| País de origen | |
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