Blocking the Lateral Film Growth at the Nanoscale in Area-Selective Atomic Layer Deposition
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|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2008 |
| Autoría |
autor: Robin Ras Maarit Karppinen Jari Malm |
| Fecha de publicación | 31 de julio de 2008 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Private domain |
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