Influence of thickness and growth temperature on the properties of zirconium oxide films grown by atomic layer deposition on silicon
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Kaupo Kukli Teet Uustare Markku Leskela Timo Sajavaara Mikko Ritala Anders Hårsta |
| Fecha de publicación | mayo 2002 |
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| País de origen | |
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