Atomic Layer Deposition of Titanium Nitride Thin Films Using tert-Butylamine and Allylamine as Reductive Nitrogen Sources

Imagen
Descripción
Autoría	autor: Petra Alén  Markku Leskela  Timo Sajavaara  Mikko Ritala
Fecha de publicación	2002
Idioma
País de origen
Enlace a Wikipedia
Estatus de derecho de autor	Private domain
¿Datos faltantes/errados?	Editar ítem de Wikidata