Atomic layer deposition of Al2O3, ZrO2, Ta2O5, and Nb2O5 based nanolayered dielectrics
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Kaupo Kukli David Gilmer Markku Leskela Timo Sajavaara Mikko Ritala |
| Fecha de publicación | mayo 2002 |
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| País de origen | |
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