Evaluation of a Praseodymium Precursor for Atomic Layer Deposition of Oxide Dielectric Films
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | |
| Autoría |
autor: Kaupo Kukli Philip J. Tobin David Gilmer Markku Leskela Timo Sajavaara Mikko Ritala |
| Fecha de publicación | noviembre 2004 |
| Idioma | |
| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Private domain |
| ¿Datos faltantes/errados? | Editar ítem de Wikidata |