Atomic Layer Deposition of High-Permittivity Yttrium-Doped HfO[sub 2] Films
| Imagen |  |
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Kaupo Kukli Markku Leskela Timo Sajavaara Mikko Ritala Jonas Sundqvist |
| Fecha de publicación | 2009 |
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| País de origen | |
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