Controlling the Crystallinity and Roughness of Atomic Layer Deposited Titanium Dioxide Films
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|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2011 |
| Autoría |
autor: Eero Santala Markku Leskela Timo Sajavaara Riikka L. Puurunen Ville Miikkulainen Mikko Laitinen |
| Fecha de publicación | 1 de septiembre de 2011 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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