Atomic Layer Deposition of Ruthenium Films from (Ethylcyclopentadienyl)(pyrrolyl)ruthenium and Oxygen
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Marianna Kemell Massimo Tallarida Kaupo Kukli Aleks Aidla Esa Puukilainen Markku Leskela Timo Sajavaara Mikko Ritala Mikko Laitinen Jonas Sundqvist |
| Fecha de publicación | 2011 |
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| País de origen | |
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