Evaluation and Comparison of Novel Precursors for Atomic Layer Deposition of Nb2O5 Thin Films
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Mikko Heikkilä Kaupo Kukli Esa Puukilainen Timothee Blanquart Markku Leskela Timo Sajavaara Mikko Ritala |
| Fecha de publicación | 21 de febrero de 2012 |
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| País de origen | |
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