Atomic Layer Deposition of LiF Thin Films from Lithd, Mg(thd)2, and TiF4 Precursors
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Jani Hämäläinen Esa Puukilainen Markku Leskela Timo Sajavaara Mikko Ritala Miia Mäntymäki |
| Fecha de publicación | 10 de abril de 2013 |
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| País de origen | |
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