Atomic layer deposited lithium aluminum oxide: (In)dependency of film properties from pulsing sequence
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Ola Nilsen Helmer Fjellvåg Timo Sajavaara Ville Miikkulainen Mikko Laitinen |
| Fecha de publicación | enero 2015 |
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| País de origen | |
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