Theαandγplasma modes in plasma-enhanced atomic layer deposition with O2–N2capacitive discharges
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Jaakko Julin Kai Arstila Ola Nilsen Helmer Fjellvåg Timo Sajavaara Mari Napari |
| Fecha de publicación | 3 de febrero de 2017 |
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| País de origen | |
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