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Structural and Chemical Investigation of Annealed Al2O3 Films for Interpoly Dielectric Application in Flash Memories

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Descripción
Autoría

autor: Stefano Alberici  Annalisa Del Vitto  Enrico Bellandi  Rossella Piagge  Massimo Caniatti  Giuseppe Pavia  Claudia Wiemer 

Fecha de publicación 2006
Idioma
País de origen
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Estatus de derecho de autor Desconocido
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