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Detection of the Tetragonal and Monoclinic Phases and their Role on the Dielectric Constant of Atomic Layer Deposited La-Doped ZrO

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Descripción
Autoría

autor: Marco Fanciulli  Alessandro Molle  Olivier Salicio  Claudia Wiemer  Alessio Lamperti 

Fecha de publicación 2011
Idioma
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