Structural and electrical properties of atomic layer deposited Al-doped ZrO2 films and of the interface with TaN electrode

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Descripción
Autoría	autor: Alessandro Molle  Claudia Wiemer  Alessio Lamperti  Rosario Rao
Fecha de publicación	julio 2012
Idioma
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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