Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD”
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autor: Nathanaelle Schneider Harri Lipsanen Erwan Rauwel Ivan Khmelnitskiy Jakob Kuhs Henrik Pedersen Georgi Popov Fabien Piallat Markku Leskela Saima Ali J. Ruud van Ommen Małgorzata Norek Hele Savin Timo Sajavaara Gloria Gottardi Mikhael Bechelany Riikka L. Puurunen Mikhail Chubarov Claudia Wiemer Jonas Sundqvist Fred Roozeboom |
| Fecha de publicación | enero 2017 |
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