Cluster Tool for In Situ Processing and Comprehensive Characterization of Thin Films at High Temperatures
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|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2018 |
| Autoría |
autor: Ramón Escobar-Galindo Sibylle Gemming Frank Lungwitz Gintautas Abrasonis Robert Wenisch Johannes von Borany Matthias Krause |
| Fecha de publicación | 13 de junio de 2018 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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