AFM lithography for the definition of nanometre scale gaps: application to the fabrication of a cantilever-based sensor with electrochemical current detection
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Anja Boisen María Villarroya Gaudó Josep Montserrat Francesc Pérez-Murano Montserrat JM Jaume Esteve |
| Fecha de publicación | 17 de abril de 2004 |
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| País de origen | |
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