Design, fabrication, and characterization of a submicroelectromechanical resonator with monolithically integrated CMOS readout circuit
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Nuria Barniol Francesca Campabadal Anja Boisen Francesc Pérez-Murano Gabriel Abadal Jaume Esteve |
| Fecha de publicación | junio 2005 |
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| País de origen | |
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