Sc2O3, Er2O3, and Y2O3 thin films by MOCVD from volatile guanidinate class of rare-earth precursors.
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2012 |
| Autoría |
autor: Harish Parala Shashi Paul Richard Cross Hans-Werner Becker Detlef Rogalla |
| Fecha de publicación | 1 de octubre de 2012 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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