Nucleation and Conformality of Iridium and Iridium Oxide Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition.
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|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2016 |
| Autoría |
autor: Miika Mattinen Jyrki Räisänen Jani Hämäläinen Markku Leskela Riikka L. Puurunen Mikko Ritala K. Mizohata Pasi Jalkanen |
| Fecha de publicación | 6 de octubre de 2016 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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