Direct atomic fabrication and dopant positioning in Si using electron beams with active real-time image-based feedback
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| Descripción | artículo científico publicado en 2018 |
| Autoría |
autor: Eva Zarkadoula Artem Maksov Sergei V. Kalinin Stephen Jesse Miguel Fuentes-Cabrera Ivan Kravchenko Albina Y Borisevich Jiaming Song |
| Fecha de publicación | 4 de abril de 2018 |
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| País de origen | |
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