A Study on the Growth Behavior and Stability of Molecular Layer Deposited Alucone Films Using Diethylene Glycol and Trimethyl Aluminum Precursors, and the Enhancement of Diffusion Barrier Properties by Atomic Layer Deposited Al2O3 Capping.
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| Descripción | artículo científico publicado en 2016 |
| Autoría | |
| Fecha de publicación | 4 de mayo de 2016 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Public domain |
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