A Study on the Growth Behavior and Stability of Molecular Layer Deposited Alucone Films Using Diethylene Glycol and Trimethyl Aluminum Precursors, and the Enhancement of Diffusion Barrier Properties by Atomic Layer Deposited Al2O3 Capping. - Dominio Público Uruguay

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A Study on the Growth Behavior and Stability of Molecular Layer Deposited Alucone Films Using Diethylene Glycol and Trimethyl Aluminum Precursors, and the Enhancement of Diffusion Barrier Properties by Atomic Layer Deposited Al2O3 Capping.

artículo científico publicado en 2016

Autoría

Detalles de la obra

Fecha de publicación: 4 de mayo de 2016

Idioma: inglés

País de origen: Desconocido

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