A flexible method for the preparation of thin film samples for in situ TEM characterization combining shadow-FIB milling and electron-beam-assisted etching.

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Descripción	artículo científico publicado en 2016
Autoría	autor: Benoit Merle
Fecha de publicación	12 de septiembre de 2016
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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