Mechanical, structural, and optical properties of PEALD metallic oxides for optical applications

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Descripción	artículo científico publicado en 2017
Autoría	autor: Adriana Szeghalmi  Christian Patzig  Andreas Tünnermann
Fecha de publicación	1 de febrero de 2017
Idioma	inglés
País de origen
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Estatus de derecho de autor	Private domain
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