Sub-10 Nanometer Feature Size in Silicon Using Thermal Scanning Probe Lithography
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2017 |
| Autoría |
autor: Marilyne Sousa Armin W Knoll |
| Fecha de publicación | 30 de octubre de 2017 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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