Three-dimensional etching of silicon for the fabrication of low-dimensional and suspended devices

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Descripción	artículo científico publicado el 4 de enero de 2013
Autoría	autor: Axel Scherer
Fecha de publicación	4 de enero de 2013
Idioma	inglés
País de origen
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Acceder a la obra	https://authors.library.caltech.edu/records/gaw9r-j9941/files/c2nr32981f.pdf?download=1
Estatus de derecho de autor	Private domain
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