Hafnium carbamates and ureates: new class of precursors for low-temperature growth of HfO2 thin films
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2009 |
| Autoría |
autor: Roland A Fischer Alberto Gasparotto Davide Barreca Hans-Werner Becker Ramasamy Pothiraja |
| Fecha de publicación | 25 de febrero de 2009 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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