Atomic layer deposition of TiO2 on surface modified nanoporous low-k films
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|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2013 |
| Autoría |
autor: Jolien Dendooven |
| Fecha de publicación | 17 de septiembre de 2013 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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