Deposition of thin films of organic-inorganic hybrid materials based on aromatic carboxylic acids by atomic layer deposition

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Descripción	artículo científico publicado en 2010
Autoría	autor: Ola Nilsen  Helmer Fjellvåg  Karina Barnholt Klepper
Fecha de publicación	1 de noviembre de 2010
Idioma	inglés
País de origen
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Estatus de derecho de autor	Private domain
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