Plasma-assisted atomic layer deposition of Al2O3 and parylene C bi-layer encapsulation for chronic implantable electronics

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Descripción	artículo científico publicado el 27 de agosto de 2012
Autoría	autor: Xianzong Xie  Loren Rieth
Fecha de publicación	1 de agosto de 2012
Idioma	inglés
País de origen
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Acceder a la obra	https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/doi/10.1063/1.4748322/13208679/093702_1_online.pdf
Estatus de derecho de autor	Desconocido
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