Experimental design approach for deposition optimization of RF sputtered chalcogenide thin films devoted to environmental optical sensors

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Descripción	artículo científico publicado en 2017
Autoría	autor: Emmanuel Rinnert  Christophe Cardinaud
Fecha de publicación	14 de junio de 2017
Idioma	inglés
País de origen
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Estatus de derecho de autor	Private domain
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