High reliability nanosandwiched Pt/Ti multilayer electrode actuators for on-chip biomedical applications.

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Descripción	artículo científico publicado en 2014
Autoría	autor: Ken-Tye Yong  Rui Hu
Fecha de publicación	1 de enero de 2014
Idioma
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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