Measurement and control of in-plane surface chemistry during the oxidation of H-terminated (111) Si.

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Descripción	artículo científico publicado en 2010
Autoría	autor: David E. Aspnes  Bilal Gökce  Kenan Gundogdu
Fecha de publicación	27 de septiembre de 2010
Idioma	inglés
País de origen
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Estatus de derecho de autor	Private domain
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