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Titanium oxide film for the bottom antireflective layer in deep ultraviolet lithography.

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Descripción artículo científico publicado en 1997
Autoría

autor: Byung-Hyuk Jun  Byeong-Soo Bae  Zhong-Tao Jiang 

Fecha de publicación 1 de marzo de 1997
Idioma inglés
País de origen
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Estatus de derecho de autor Desconocido
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