Imaging thin films of nanoporous low-k dielectrics: comparison between ultramicrotomy and focused ion beam preparations for transmission electron microscopy

Imagen
Descripción	artículo científico publicado en 2006
Autoría	autor: Matthew R Phillips
Fecha de publicación	1 de abril de 2006
Idioma	inglés
País de origen
Enlace a Wikipedia
Estatus de derecho de autor	Desconocido
¿Datos faltantes/errados?	Editar ítem de Wikidata