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High-resolution submicron patterning of self-assembled monolayers using a molecular fluorine laser at 157 nm.

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Descripción artículo científico publicado en 2005
Autoría

autor: Nagahiro Saito 

Fecha de publicación 1 de febrero de 2005
Idioma inglés
País de origen
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Estatus de derecho de autor Desconocido
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