Monolithically integrated optical displacement sensor based on triangulation and optical beam deflection.

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Descripción	artículo científico publicado en 1999
Autoría	autor: Eiji Higurashi  Ryu Sawada
Fecha de publicación	1 de marzo de 1999
Idioma	inglés
País de origen
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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