Circular test structure for the determination of piezoelectric constants of Sc x Al1-x N thin films applying Laser Doppler Vibrometry and FEM simulations

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Descripción	artículo científico publicado en 2015
Autoría	autor: Patrick Mayrhofer  Holger Euchner  Achim Bittner
Fecha de publicación	1 de febrero de 2015
Idioma	inglés
País de origen
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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