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Thermal Characterization of Dynamic Silicon Cantilever Array Sensors by Digital Holographic Microscopy

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Descripción artículo científico publicado en 2017
Autoría

autor: Rüdiger Berger  Filipe Natalio  Hans-Jürgen Butt  Antonin Novak 

Fecha de publicación 23 de mayo de 2017
Idioma inglés
País de origen
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Estatus de derecho de autor Private domain
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