Crystallinity of inorganic films grown by atomic layer deposition: Overview and general trends
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|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2013 |
| Autoría |
autor: Markku Leskela Riikka L. Puurunen Mikko Ritala Ville Miikkulainen |
| Fecha de publicación | 14 de enero de 2013 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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