Accurately computed dimerization fraction of ALD precursors and their impact on surface reactivity in area-selective atomic layer deposition - Dominio Público Uruguay

¿Datos faltantes/incorrectos? Editar elemento de Wikidata

Imagen de una obra genérica. El texto sobre ella indica que no hay disponible una imagen libre de la obra, y que si posees una, puedes hacer clic en el enlace del cartel para subirla.

Accurately computed dimerization fraction of ALD precursors and their impact on surface reactivity in area-selective atomic layer deposition

Autoría

autor: Ralf Tonner, Fabian Pieck

Detalles de la obra

Fecha de publicación: 22 de agosto de 2024

Idioma: Desconocido

País de origen: Desconocido

Estado de los derechos de autor

Desconocido

Dominio Público Uruguay cuenta con el apoyo de:

Acerca de Dominio Público Uruguay

Ayuda

Documentación