Role of idealized surface representations in computational AS-ALD: Assessing trimethoxypropylsilane blocking performance for Al2O3 deposition with crystalline SiO2 - Dominio Público Uruguay

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Role of idealized surface representations in computational AS-ALD: Assessing trimethoxypropylsilane blocking performance for Al2O3 deposition with crystalline SiO2

Autoría

autor: Ralf Tonner, Fabian Pieck

Detalles de la obra

Fecha de publicación: 5 de septiembre de 2025

Idioma: Desconocido

País de origen: Desconocido

Estado de los derechos de autor

Desconocido

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