Self-consistent modeling of microwave activated N 2 /CH 4 /H 2 (and N 2 /H 2 ) plasmas relevant to diamond chemical vapor deposition

Imagen
Descripción	artículo científico publicado en 2022
Autoría
Fecha de publicación	1 de marzo de 2022
Idioma
País de origen
Enlace a Wikipedia
Estatus de derecho de autor	Public domain
¿Datos faltantes/errados?	Editar ítem de Wikidata